Beschichten

Spin 150i / Spin 200i

Die Zentrifugen Spin 150i / Spin 200i sind unsere Einsteigergeräte für die Oberflächenbehandlung von Wafern. Sie eignen sich für Prozesse wie das Entwickeln, Ätzen sowie Reinigen und Trocknen von Wafern und das Beschichten von Glassubstraten (LCD). Diese Geräte sind als TableTop- und InDeck-Ausführung in den Materialien Polypropylen (PP) und Fluorkunstoffen (PTFE) lieferbar. Eine moderne Touchscreenbedienung rundet das moderne Design ab.

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Polos 200 / Polos 300 / Polos 450

Die Zentrifugen Polos 200 / Polos 300 / Polos 450 sind Geräte mit erweitertem Options- und Funktionsumfang. Sie verfügen über einen stärkeren Antrieb und sind kundenspezifisch konfigurierbar. Durch die Verwendung von Spezialkunststoffen mit hoher chemischer Beständigkeit wie Polypropylen (PP) und Fluorkunstoffen (PTFE) ist die POLOS Serie ideal geeignet für Anwendungen in der Halbleiterindustrie. Es stehen Modelle zur Benutzung als Tischgerät oder zum Einbau in eine Nassbank zur Verfügung. Die Varianten reichen vom einfachen System für manuelles Dispensen bis zum Vollautomaten mit verschiedenen Sprüheinrichtungen für Flüssigkeiten oder Gase und optionaler automatischer Deckelöffnung. Verschiedene Werkstückträger mit und ohne Vakuum stehen zur Auswahl.

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Polos 600

Für Spezialanwendungen mit großen Substraten ist der Polos 600 gedacht. Die neuen Wafergrößen können damit mühelos verarbeitet werden. Der Zentrifugenkörper ist aus PP gefertigt und deshalb von hoher chemische Beständigkiet. Eine vollautomatische Deckelöffnung und Deckelschließung mit Sicherheitsschaltung sorgen für kurze Prozesspausen. Automatische Dispens-und Positioniereinrichtungen sind optional erhältlich. Elektrische Ein-und Ausgänge bieten die Integration von benachbarten Prozessen. Werkstückträger aus Edelstahl, beschichtetem Aluminium oder Spezialkunststoffen mit Vakuum und mechanischer Zentrierung sind dem Standardprogramm zu entnehmen oder werden Anwendungsspezifisch entwickelt.

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