Handling

Carrier Handling System CLS NG

Das Carrier Handling System ist unser High-End-Gerät zum automatischen Handling von Wafern aus/in die Carrier – und das zu einem sehr interessanten Preis-/Leistungsverhältnis. Es können gezielt gewünschte Wafer aus einem Carrier über einen Vakuumgreifer be-/entladen, umgeladen oder umsortiert werden und das mit mehreren und auch unterschiedlichen Carriern. Es können standardmäßig 2″ – 8″ Wafer in einem Carrier genutzt werden – auf Wunsch sind auch andere Maße oder Sondermaße und beliebig viele Carrierstationen möglich. Der Vakuumgreifer ist optimiert auf schonendes Waferhandling – d.h. sehr geringe Auflagefläche und kann den Wafer wahlweise von oben oder unten greifen. Optional sind ein mechanischer oder servomotorisch betriebener Wobble-Chuck, OCR-Reader, Flat- und Notch-Finder und Wafer-Flip erhältlich.

CLS NG

Carrier Loading System – Single CLSS

Das Carrier Loading System – Single dient zum automatischen Be- und Entladen von Wafern aus/in die Carrier. Der Carrier wird zur Entnahme der Wafer in der Höhe verfahren. Über einen Riemen wird jeweils der unterste Wafer aus dem Carrier entnommen und kann per Hand weiterverarbeitet werden. Das CLSS erkennt automatisch über Sensoren, ob ein Wafer in der Position enthalten ist. Das Beladen erfolgt genau anders herum – zuerst wird der 25. Wafer beladen anschließend der 24. usw. Es kann pro Gerät eine Wafergröße eingesetzt werden – wahlweise 5″/6″ oder 6″/8″.

CLSS

Wafer Sorter Sort300

Das Sort300 ist ein integriertes Reinraum-System zum Sortieren von 200mm- (8“-) oder  300mm- (12“-) Wafern. Drei Loadports können mit Carriern unterschiedlichen Typs  (Kunststoff oder Metall) beladen werden. Optional kann eine Carrier-ID mit einem Barcode-Scanner gelesen werden.
Die Carrier-Besetzung wird mit einem IR-optischen Sensor festgestellt, der auch ausgedünnte Wafer bis hinab zu 80 µm Dicke erkennt. Ein servomotorisches X-Y-Z-System entnimmt die Wafer mit einem keramischen Vakuum-Greifer aus den Cassetten und platziert sie auf einem mitfahrenden Tisch zum Notch-Finding.
Nach entsprechender Rotation kann ein OCR-String mit einer speziellen Kamera, gelesen werden, die auf dem mitfahrenden Tisch die entsprechende 8“- oder 12“-Radiusposition anfährt.
Das Sort300 gewährleistet schnelle Taktzeiten und unterstützt eine Vielzahl von Sortier-Algorithmen, auch die Verteilung (Split) von Wafern aus einer 25-Slot-Cassette auf zwei 13-Slot-Cassetten oder umgekehrt (Merge). Das System kann offline arbeiten oder an unterschiedliche Leitrechner-Systeme, auch nach SECS-GEM-Standard, angebunden werden. Für Bedienung und Prozessvisualisierung bietet das Sort300 ein benutzerfreundliches Operator-Interface mit einem großen grafischen Touch-Display.
Der Zugriff auf Einricht- und Service-Funktionen ist in mehreren Ebenen Code-geschützt. Anpassungen des Sort300 an besondere Anforderungen sind auf Anfrage jederzeit möglich.