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Wafer Inspection System WIS

Das Wafer Inspection System WIS ist ein hochwertiges Gerät zum Inspizieren von Wafern. Die Auswahl eines oder mehrerer zu untersuchenden Wafer ist gezielt über ein automatisches Programm oder manuell über eine Bedientaste möglich. Der Wafer wird über ein Wafergreifsegment und eine Hubeinheit nach oben aus dem Carrier herausgehoben und kann wahlweise in verschiedene Richtungen gedreht werden. Die Bedienung und Konfigurierung des Gerätes sowie die Einrichtung der Programmabläufe lässt sich bedienerfreundlich über ein externes Bedienpanel vornehmen. Ausschließlich hochwertige Materialen werden bei der Herstellung des WIS verwendet. Sie sind die Grundlage für eine lange Lebensdauer und gewährleisten die Betriebssicherheit bei jedem Arbeitsgang. Das WIS ist damit ideal für die Verwendung im Reinraum geeignet. Bitte geben Sie bei Ihrer Bestellung die Carrierbezeichnung sowie die Wafergröße an. Das Gerät ist für Wafergrößen von 4“ bis 8“ lieferbar.

WIS-2

Wafer Prober

Der Wafer Prober ist ein  System zur stichprobenartigen Vermessung elektrischer Kenngrößen auf Wafern über Testnadeln. Er verfügt über eine manuelle Positionierung mit einer vertikalen Positioniergenauigkeit von +/- 5µm. Mit einem Kamerasystem wird der relevante Ausschnitt von ca. 1x1mm auf einem 10“ Kameramonitor dargestellt. Es können Wafer bis zu einer Größe von 8“ untersucht werden.

Wafer Prober