Das Carrier Handling System ist unser High-End-Gerät zum automatischen Handling von Wafern aus/in die Carrier - und das zu einem sehr interessanten Preis-/Leistungsverhältnis. Es können gezielt gewünschte Wafer aus einem Carrier über einen Vakuumgreifer be-/entladen, umgeladen oder umsortiert werden und das mit mehreren und auch unterschiedlichen Carriern. Es können standardmäßig 2" - 8" Wafer in einem Carrier genutzt werden - auf Wunsch sind auch andere Maße oder Sondermaße und beliebig viele Carrierstationen möglich. Der Vakuumgreifer ist optimiert auf schonendes Waferhandling - d.h. sehr geringe Auflagefläche und kann den Wafer wahlweise von oben oder unten greifen.
Optional sind ein mechanischer oder servomotorisch betriebener Wobble-Chuck, OCR-Reader, Flat- und Notch-Finder und Wafer-Flip erhältlich.
