Das Carrier Loading System - Fast dient zum automatischen Be- und Entladen von Wafern aus/in die Carrier. Es kann gezielt der gewünschte Wafer aus dem Carrier über einen Vakuumgreifer entnommen werden und auf einer Plattform abgelegt werden. Hierbei verfährt der Vakuumarm ohne Drehung nach vorn und hinten, wodurch sehr schnelle Be-/Entladevorgänge realisiert werden können. Der Vakuumgreifer ist optimiert auf schonendes Waferhandling - d.h. sehr geringe Auflagefläche. Es ist jeweils ein Wafertyp pro Gerät einsetzbar - wahlweise können 4" / 6" oder 8" verarbeitet werden. Optional kann das Gerät mit einer OCR-Erkennung ausgerüstet werden.
