Das Carrier Loading System - Advanced 234 dient zum automatischen Be- und Entladen von Wafern aus/in die Carrier. Es kann gezielt ein Wafer aus dem Carrier über einen Vakuumgreifer entnommen werden und auf einem Lagerteller abgelegt werden. Hierbei dreht sich der Vakuumarm um 180 Grad. Es ist jeweils ein Wafertyp pro Gerät einsetzbar; wahlweise sind - ohne Änderung am Gerät - automatisch 2", 3" oder 4" verarbeitbar. Die Erkennung von Carrier- und Wafergröße erfolgt automatisch und betriebssicher. Optional kann das Gerät mit einer OCR-Erkennung ausgerüstet werden.
