Carrier Loading System - Single
Das Carrier Loading System - Single dient zum automatischen Be- und Entladen von Wafern aus/in die Carrier. Der Carrier wird zur Entnahme der Wafer in der Höhe verfahren. Über einen Riemen wird jeweils der unterste Wafer aus dem Carrier entnommen und kann per Hand weiterverarbeitet werden. Das CLSS erkennt automatisch über Sensoren, ob ein Wafer in der Position enthalten ist. Das Beladen erfolgt genau anders herum - zuerst wird der 25. Wafer beladen anschließend der 24. usw. Es kann pro Gerät eine Wafergröße eingesetzt werden - wahlweise 5"/6" oder 6"/8".
