Das Carrier Loading System CLS ist ein hochwertiges System – einfach in der Anwendung, wartungsarm und langlebig. Hochwertige Materialien sind die Basis für die Anwendung im Reinraum. Folgende Ausführungen für verschiedene Kundenanwendungen sind erhältlich:
| Entnahme über: | Riemen | Entnahme über: | Vakuum |
| CLSS Das Carrier Loading System - Single dient zum automatischen Be- und Entladen von Wafern aus/in di... |
|
CLSA234 Das Carrier Loading System - Advanced 234 dient zum automatischen Be- und Entladen von Wafern aus... |
|
| CLST Beim Carrier Loading System - Twin handelt es sich um zwei miteinander gekoppelte CLSS in einem G... |
|
CLF Das Carrier Loading System - Fast dient zum automatischen Be- und Entladen von Wafern aus/in die ... |
|
