Sie sind hier:

Waferhandling

Spin 150

Polos 200

Polos 300

Polos 600

Polos 1000

Wafer Inspection

Wafer Exchange

Wafer Mover

Lasermark Reader

Carrier Loading

Carrier Handling

Heizkassetten-Hubwagen

Waferofenfahrmaschine

Lineartechnik

Automatisierungstechnik

Gebäudesystemtechnik

Suchen nach:

Allgemein:

Startseite

Versorgungsspannung  100 – 120 VAC ( 50/60 Hz )
200 – 240 VAC ( 50/60 Hz )
(autoselect) 
Leistungsaufnahme max.  500 / 1000 W (modellabhängig)  
Vakuum  - 65 kPa (-19 inchHg) 
Vakuum Schlauchanschluß  ID 6, AD 8 
CDA  2 - 5 l/min 
CDA Schlauchanschluß  ID 4, AD 6 
Druckluftversorgung  6 – 8 bar 
Ablauf  1" M-NPT Gewindestutzen