Die POLOS Serie ist eine Produktreihe von Zentrifugen für Scheiben bis ca. 300mm Durchmesser. Durch die Verwendung von Spezialkunststoffen mit hoher chemischer Beständigkeit wie Polypropylen (PP) und Fluorkunstoffen (PTFE) ist die POLOS Serie ideal geeignet für Anwendungen in der Halbleiterindustrie. So zum Beispiel für das Entwickeln, Ätzen sowie Reinigen und Trocknen von Wafern oder das Beschichten von Glassubstraten (LCD). Es stehen Modelle zur Benutzung als Tischgerät oder zum Einbau in eine Nassbank zur Verfügung. Die Varianten reichen vom einfachen System für manuelles Dispensen (MCD) bis zum Vollautomaten (ACD) mit verschiedenen Sprüheinrichtungen für Flüssigkeiten oder Gase und optionaler automatischer Deckelöffnung. Verschiedene Werkstückträger mit und ohne Vakuum stehen zur Auswahl. Die leistungsstarken Geräte fahren maximale Geschwindigkeiten bis zu 10.000 U/min bei extrem kurzen Beschleunigungszeiten.

