Elektrische Anschlussdaten
| Versorgungsspannung | 110 - 240 V |
| Leistungsaufnahme max. | 80 VA |
| Frequenz | 50 / 60 Hz |
| Schutzklasse | I |
| Anschlusskabel | 3 x 1 qmm >= 2,5 m lang |
| Anschluss | Kaltgerätestecker 3-polig |
Allgemein
| WMLC 6" | WMLC 8" | |
| Breite | 265 mm | 265 mm |
| Höhe | 245 mm | 285 mm |
| Tiefe | 545 mm | 545 mm |
| Gewicht | ca. 18,5 kg | ca. 19 kg |
Bestellausführungen
| 33xxx | WMLC 6" Wafer Mover Low Profil System |
| 32947 | WMLC 8" Wafer Mover Low Profil System |