Das Wafer Exchange System WES ist ein hochwertiges Gerät zum Entladen und Laden von Wafern. In einem Arbeitsschritt werden gleichzeitig alle Wafer automatisch und ohne weitere manuelle Berührung mit Hilfe eines Schubschwertes in den leeren Carrier umgeladen. Insbesondere ist das Umladen zwischen high- und lowprofile-Carriern möglich.
Das Gerät ist einfach in der Anwendung, langlebig und wartungsfrei. Ausschließlich hochwertige Materialien werden bei der Herstellung des WES verwendet. Sie sind die Grundlage für eine lange Lebensdauer und gewährleisten die Betriebssicherheit bei jedem Arbeitsgang. Das WES ist damit ideal für die Verwendung im Reinraum geeignet.
Je nach Ausführung ist das Gerät erhältlich für das Umladen von 6“ oder 8“ Wafern. Es ist kompatibel mit den gängigen high- und low-profile-Carriertypen. Bitte geben Sie bei Ihrer Bestellung die Carrierbezeichnungen an.