Elektrische Anschlussdaten
| Versorgungsspannung | 110 - 240 V |
| Leistungsaufnahme max. | 80 VA |
| Frequenz | 50 / 60 Hz |
| Schutzklasse | I |
| Anschlusskabel | 3 x 1 qmm >= 2,5 m lang |
| Anschluss | Kaltgerätestecker 3-polig |
Allgemein
| WES 6" | WES 8" | |
| Breite | 500 mm | 600 mm |
| Höhe | 320 mm | 380 mm |
| Tiefe | 220 mm | 257 mm |
| Breite bei ausgezogenem Schwert | 730 mm | 890 mm |
| Gewicht | 10,1 kg | 13,25 kg |
Bestellausführungen
| 30774 | WES 6" Wafer Exchange System |
| 32031 | WES 8" Wafer Exchange System |