Elektrische Anschlussdaten
| Versorgungsspannung | 110 - 240 V |
| Leistungsaufnahme max. | 120 VA |
| Frequenz | 50 / 60 Hz |
| Schutzklasse | I |
| Anschlusskabel | 3 x 1 qmm >= 2,5 m lang |
| Anschluss | Kaltgerätestecker 3-polig |
Allgemein
| Breite | 400 mm |
| Höhe | 418 mm |
| Tiefe | 240 mm |
| Gewicht | 25 kg (inkl. Bedienteil) |
Zubehör
| 19536 | WIS Bedienpanel (im Lieferumfang enthalten) |
| 31142 | WIS Hubeinheit (im Lieferumfang enthalten) |
| diverse Ausführungen | WIS Wafergreifsegment (im Lieferumfang enthalten) |
Bestellausführungen
| 29784 | Wafer Inspection System (servo) in verschiedenen Größen von 4" - 8". |
