Das WOF dient zum Verfahren von Wafern in oder aus einem Waferofen. Die digitale Steuerung über Servomotor und Riemenantrieb gewährleistet eine langsame und präzise Fahrt auf Linearschienen, damit die Wafer optimal in den Ofen gelangen. Am Laufwagenadapter wird ein „Quarzboot“ montiert das max. 400 Wafer in den bis zu 1.500 Grad heissen Waferofen verfährt.
Dieses Produkt wird insbesondere zum Nachrüsten in bestehende Anlagen eingesetzt. Auch die Adaption an bestehende Steuerungen wird realisiert.
